Diese Seite zeigt viele spezifische höhe Qualität Produkte, die speziell für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden.
Blitzschnelle Temperatur Sensoren
ST-50/51 Serie
Sehr schnelles Film Typ K Thermoelement. Unsere kleinste ST-50 hat ein 50μm Spitze und eine Reaktionszeit von nur 0.03 Sek. (von Umgebungstemperatur zum 250°C im Paraffin)
Anwendungsbeispiele:
- Messen von Temperaturverteilung während Glas Substrat Sintern/Verschmelzen
- Prüfen von Thermisches Design von Leistungelektronik
Schnelle und genaue Prozeß & Temperatur Regler
Schneller thermischer Prozeß/Rapid Thermal Process (RTP)
Wafer-Stepper / Lithographie & Beschichtung
Sehr genaue (0.001°C) Regler sind benötigt um die Temperatur von Optik (Belichtungsobjektive) & Feinmechanik extrem stabil zu halten.
- F9000 höhe genauigkeit Regler (10 PID Berechnungen pro Sekunde). Hervorragende Regelstabilität durch Leistungsvorsteuerung.
- Genauigkeit Temperatur Messung: +/- 0.05°C
- Genauigkeit Temperatur Reglung: +/- 0.001°C
- Meßbereich: 0.000°C bis +50.000°C
- 1 oder 2 Kanal Version
Kaskadierte Temperaturregelung im Diffusionsöfen (PVD/CVD)
Wenn es eine große Zeitverzögerung gibt im zu regulieren Objekt (mit Risiko von Temperatur Überschuß) wird Kaskadierte Meister-Sklave Reglung angewendet. Beispiele sind Chemische & physikalische Aufdampfung (CVD/PVD) Öfen.
Mehrzonen Temperatur Regelung im große Öfen für OLED/LCD Produktion
Große Mehrzonen Öfen haben viele Temperaturzonen die sehr genau kontrolliert werden müssen.
Um bei der Chargen-/Rezeptsteuerung einen guten Überblick zu behalten, werden HMI/SCADA/PLC-Touchpanels zur übergeordneten Steuerung hinzugefügt. Viele Feldbusse verfügbar.
- SRZ Mehrkanal System 2/4 Kanäle DIN-Schiene Montage Modulen mit Feldbus Schnittstelle (ProfiNET, ProfiBUS, EtherCAT, Ethernet/IP, DeviceNET, MODBUS TCP/RTU, CC-Link, MAPMAN und MECHATROLINK)
- MA900/901 4/8 Kanal Temperatur Regler für Einbau im Schaltschrank
Elektrische Begleitheizung
Elektrische Begleitheizung wird benützt um Rohrleitungen und Behälter auf eine stabile Temperatur zu halten, und um Erfrieren zu verhindern. Wir sind spezialisiert auf zuverläßig und genau Temperatur regelen für diese art von Anwendungen inkl. HMI/SCADA/PLC Touchpanels für einfache Bedienung.
- SB1 Begleitheizung Regler mit eingebautes 7A 230Vac SSR Halbleiterrelais
- SRZ Mehrzone System 2/4 Kanäle DIN-Schiene Modulen
- RB Serie 1 Kanal Regler für einbau im Schaltschrank
Programmregler für Chargen Prozeße & Öfen
Leistungselektronik für Ansteuern von alle Arten von Elektrische Beheizung inkl. IR/UV Lampen
RKC Instrument Leistungselektronik
- sehr hohe unübertroffen japanische Qualität
- extrem hohe Zuverlässigkeit
- Strom Bereich: 10-200A
- 1, 2 oder 3 Phase Lasten
- Spannung Bereich Last: 35-480Vac
- Normal Ohmsche Wiederstand Heizelemente (Widerstand unabhängig von Temperatur)
- induktive Lasten (zum Beispiel primäre Seite von ein Transformator)
- Molybdän (MoSi2) Heizelemente (zum Beispiel Kanthal-Super)
- Siliziumkarbid (SiC) Heizelemente
CD Automation Leistungselektronik
- flexibel und modulare Systeme mit viele Optionen, damit Sie nur das bestellen müssen, was Sie wirklich brauchen, nicht mehr und nicht weniger.
- Strom Bereich: 10-2100A
- 1, 2 oder 3 Phasen Lasten
- Spannung bis einschließlich 690Vac
- Normal Ohmsche Wiederstand Heizelemente (Widerstand unabhängig von Temperatur)
- induktive Lasten (zum Beispiel primäre Seite von ein Transformator)
- Infrarot (IR) (Lang-, Mittel-, und Kurzwelle Lampen)
- Molybdän (MoSi2) Heizelemente (zum Beispiel Kanthal-Super)
- Siliziumkarbid (SiC) Heizelemente
- UV Lampen
Datenlogger für Reinraum Überwachung (Druck, Temperatur, Luftfeuchtigkeit)
SmartReader Plus Serie
2-8 Kanal Batterie betriebene Datenlogger mit interne Temperatur Messung. Verschiedene Versionen verfügbar für:
- Thermoelement Typ J, K, S, T & E (-200°C bis +1450°C)
- RTD Pt100/Pt1000 (-230°C bis +300°C)
- NTC Thermistor (-60°C bis +255°C)
- mV/V & mA Prozeß Signale
- AC Spannung (120/240/480/600Vac) & Strom (5A bis 500A)
- Druck (0-25mBar bis 0-10Bar)
- Differenzdruck (+/- 2.5Pa bis +/- 25mBar)
- Wiederstand
- 24VDC digital IO Signale oder potentialfreier Kontakt (max. 100kHz)
