Halbleiter

Diese Seite zeigt viele spezifische höhe Qualität Produkte, die speziell für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden.

Blitzschnelle Temperatur Sensoren

ST-50/51 Serie

Sehr schnelles Film Typ K Thermoelement. Unsere kleinste ST-50 hat ein 50μm Spitze und eine Reaktionszeit von nur 0.03 Sek. (von Umgebungstemperatur zum 250°C im Paraffin)

Anwendungsbeispiele:

  • Messen von Temperaturverteilung während Glas Substrat Sintern/Verschmelzen
  • Prüfen von Thermisches Design von Leistungelektronik
Prüfen von Thermisches Design
ST-51 ultra fast type K thermocouple
Glas Substrat Temperatur

Schnelle und genaue Prozeß & Temperatur Regler

Schneller thermischer Prozeß/Rapid Thermal Process (RTP)

Schnelle thermische Prozeße wie Ausglühen & Kleben mit Lampen (annealing & bonding) benötigen Regler die viele Berechnungen pro Sekunde ausführen.

  • FZ Serie (20 PID Berechnungen pro Sekunde)
  • GZ Serie (100 PID Berechnungen pro Sekunde)

Wafer-Stepper / Lithographie & Beschichtung

Sehr genaue (0.001°C) Regler sind benötigt um die Temperatur von Optik (Belichtungsobjektive) & Feinmechanik extrem stabil zu halten.

  • F9000 höhe genauigkeit Regler (10 PID Berechnungen pro Sekunde). Hervorragende Regelstabilität durch Leistungsvorsteuerung.
  • Genauigkeit Temperatur Messung: +/- 0.05°C
  • Genauigkeit Temperatur Reglung: +/- 0.001°C
  • Meßbereich: 0.000°C bis +50.000°C
  • 1 oder 2 Kanal Version
RKC F9000 0.001C accuracy temperature controller
+/- 0.001°C Genauigkeit
RKC F9000 high accuracy controller
Leistungsvorsteuerung

Kaskadierte Temperaturregelung im Diffusionsöfen (PVD/CVD)

Wenn es eine große Zeitverzögerung gibt im zu regulieren Objekt (mit Risiko von Temperatur Überschuß) wird Kaskadierte Meister-Sklave Reglung angewendet. Beispiele sind Chemische & physikalische Aufdampfung (CVD/PVD) Öfen.

  • FZ Serie (20 PID Berechnungen pro Sekunde) 2 Kanal Version
  • GZ Serie (100 PID Berechnungen pro Sekunde) 2 Kanal Version
master-slave cascaded control for CVD
Meister-Sklave Kaskadierte Regelung

Mehrzonen Temperatur Regelung im große Öfen für OLED/LCD Produktion

Große Mehrzonen Öfen haben viele Temperaturzonen die sehr genau kontrolliert werden müssen. 

Um bei der Chargen-/Rezeptsteuerung einen guten Überblick zu behalten, werden HMI/SCADA/PLC-Touchpanels zur übergeordneten Steuerung hinzugefügt. Viele Feldbusse verfügbar.

  • SRZ Mehrkanal System 2/4 Kanäle DIN-Schiene Montage Modulen mit Feldbus Schnittstelle (ProfiNET, ProfiBUS, EtherCAT, Ethernet/IP, DeviceNET, MODBUS TCP/RTU, CC-Link, MAPMAN  und MECHATROLINK)
  • MA900/901 4/8 Kanal Temperatur Regler für Einbau im Schaltschrank
Multizone furnace temperature control
Mehrzonen Öfen

Elektrische Begleitheizung

Elektrische Begleitheizung wird benützt um Rohrleitungen und Behälter auf eine stabile Temperatur zu halten, und um Erfrieren zu verhindern. Wir sind spezialisiert auf zuverläßig und genau Temperatur regelen für diese art von Anwendungen inkl. HMI/SCADA/PLC Touchpanels für einfache Bedienung.

elektrische Begleitheizung

Programmregler für Chargen Prozeße & Öfen

Genaue und erweiterte Programmregler für Charge Prozeße und Öfen die ein vorprogrammiertes Profil folgen müssen.

  • PZ Serie Programmregler: einfache Bedienung
  • PF900 Programmregler: erweiterte Funktionalität
PZ Serie Programmregler
PF900 erweiterte Programmregler

Leistungselektronik für das Steuern von alle arten von elektrische Heizelemente inkl. IR/UV Lampen

RKC Instrument Leistungselektronik

  • sehr hohe unübertroffen japanische Qualität
  • extrem hohe Zuverlässigkeit
  • Strom Bereich: 10-200A
  • 1, 2 oder 3 Phase Lasten
  • Spannung Bereich Last: 35-480Vac
  • Normal Ohmsche Wiederstand Heizelemente (Widerstand unabhängig von Temperatur)
  • induktive Lasten (zum Beispiel primäre Seite von ein Transformator)
  • Molybdän (MoSi2) Heizelemente (zum Beispiel Kanthal-Super)
  • Siliziumkarbid (SiC) Heizelemente

CD Automation Leistungselektronik

  • flexibel und modulare Systeme mit viele Optionen, damit Sie nur das bestellen müssen, was Sie wirklich brauchen, nicht mehr und nicht weniger.
  • Strom Bereich: 10-2100A
  • 1, 2 oder 3 Phasen Lasten
  • Spannung bis einschließlich 690Vac
  • Normal Ohmsche Wiederstand Heizelemente (Widerstand unabhängig von Temperatur)
  • induktive Lasten (zum Beispiel primäre Seite von ein Transformator)
  • Infrarot (IR) (Lang-, Mittel-, und Kurzwelle Lampen)
  • Molybdän (MoSi2) Heizelemente (zum Beispiel Kanthal-Super)
  • Siliziumkarbid (SiC) Heizelemente
  • UV Lampen

Batteriebetriebene Standalone-Datenlogger für die Reinraumüberwachung

SmartReader Plus Serie

2-8 Kanal Batterie betriebene Datenlogger mit interne Temperatur Messung. Verschiedene Versionen verfügbar für:

  • Thermoelement Typ J, K, S, T & E (-200°C bis +1450°C)
  • RTD Pt100/Pt1000 (-230°C bis +300°C)
  • NTC Thermistor (-60°C bis +255°C)
  • mV/V & mA Prozeß Signale
  • AC Spannung (120/240/480/600Vac) & Strom (5A bis 500A)
  • Druck (0-25mBar bis 0-10Bar)
  • Differenzdruck (+/- 2.5Pa bis +/- 25mBar)
  • Wiederstand
  • 24VDC digital IO Signale oder potentialfreier Kontakt (max. 100kHz)
SmartReader Plus 4 LPD differential pressure and temperature datalogger
Beispiel: SmartReader Plus 4 LPD: niedrige Differenzdruck und Temperatur
NIST
optionales NIST-Kalibrierzertifikat