Schauen Sie sich unten einzige Funktionen des SRX System von RKC Instrument Inc. an.
Dieses SRZ System ist speziell entwicklet worden für rapid thermal processing RTP in die Halbleiterindustrie. Dafür hat es eine höhe mess- und Reglerfrekwenz von nicht weniger als 40 Messungen & PID Berechnungen pro Sekunde.
– allgemeine Broschüre SRX series
– detail Information Broschüre SRX series
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Messfrequenz
Das SRX-System hat eine schnelle Messfrequenz von 40 Messungen und PID Berechnungen pro Sekunde.
Dual-Loop-Steuerung
Die Steuerung mit zwei Regelkreise kann in ein kompaktes Modul ausgeführt werden. Für eine Steuerung mit 62 Regelkreise können maximal 31 Modulen angeschlossen werden.
