Halfgeleider

Deze pagina toont vele specifieke hoge kwaliteit producten die speciaal zijn ontwikkeld voor toepassing in de halfgeleider industrie.

Ultrasnelle temperatuur sensoren

ST-50/51 serie

Ultra snel film type K thermokoppel. De kleinste ST-50 heeft een 50μm tip met een reactietijd van slechts 0.03s (van omgeving temperatuur naar 250°C in paraffine).

Gebruiksvoorbeelden:

  • temperatuur verdeling meting tijdens glas substraat verwarmen / bonding
  • verificatie van thermisch ontwerp van vermogens modulen
thermische verificatie
ST-51 ultra fast type K thermocouple
temperatuur van glas substraat

Snelle en nauwkeurige proces & temperatuur regelaars

Rapid Thermal Processing (RTP)

Voor Rapid Thermal Processing, zoals lamp annealing & bonding, zijn snelle regelaars nodig die vele PID berekeningen per seconde maken. 

  • FZ serie (20 PID berekeningen per seconde)
  • GZ serie (100 PID berekeningen per seconde)

Waferstepper / lithografie & coating

Om de temperatuur van optiek (lenzen voor belichting) extreem stabiel te houden zijn zeer nauwkeurige (0.001°C) regelaars nodig.

  • F9000 hoge nauwkeurigheid regelaar (10 PID berekeningen per seconde). Excellente regelstabiliteit door middel van vermogen feed forward regelstrategie.
  • nauwkeurigheid temperatuur meting+/- 0.05°C
  • nauwkeurigheid temperatuur regeling: +/- 0.001°C
  • meetbereik: 0.000°C tot +50.000°C
  • 1 of 2 kanaals versie beschikbaar
RKC F9000 0.001C accuracy temperature controller
+/- 0.001°C nauwkeurigheid
RKC F9000 high accuracy controller
vermogen feed forward

Gecascadeerde (master-slave) temperatuur regeling in diffusie ovens (PVD/CVD)

Een master-slave gecascadeerde regeling is nodig wanneer er een grote tijdvertraging is tussen de reactie van het proces en de toevoer van warmte. Hierdoor bestaat het gevaar voor overshoot (te hoge temperatuur), in het bijzonder bij chemical vapour deposition (CVD) en physical vapour deposition (PVD) ovens.

  • FZ serie (20 PID berekeningen per seconde) 2 kanaals versie
  • GZ serie (100 PID berekeningen per seconde) 2 kanaals versie
master-slave cascaded control for CVD
master-slave gecascadeerde regeling

Meerzone temperatuur regeling in grote OLED/LCD productie ovens

Grote meerzone ovens hebben vele temperatuur zones die afzonderlijk nauwkeurig geregeld moeten worden. Om een goed beeld van het productieproces te hebben m.b.t. de batch/recept regeling worden HMI/SCADA/PLC touchpanels toegepast. Deze zijn voorzien van vele soorten bekende veldbussen voor verdere koppeling naar bovenliggende ERP systemen.

  • SRZ meerzone systeem 2/4 kanaals DIN-rail modules met veldbus interface (ProfiNET, ProfiBUS, EtherCAT, Ethernet/IP, DeviceNET, MODBUS TCP/RTU, CC-Link, MAPMAN  en MECHATROLINK)
  • MA900/901 meerzone 4/8 kanaals paneelmontage temperatuur regelaar
Multizone furnace temperature control
meerzone oven

Electrische heat-tracing

Electrische heat-tracing wordt gebruikt om pijpleidingen en tanks op een constante stabiele temperatuur te houden en om bevriezing te vookomen. We zijn gespecialiseerd in nauwkeurige en betrouwbare regelsystemen incl. HMI/SCADA/PLC touchpanels voor deze toepassingen.

electrische heat-tracing

Programmaregelaars voor batch processen & ovens

Nauwkeurige en geavanceerde programmaregelaars voor het geprogrammeerd aflopen van profielen in batch-processen en ovens.

  • PZ serie programmaregelaar: eenvoudige bediening
  • PF900 programmaregelaar: zeer geavanceerde functies
PZ serie programmaregelaar
PF900 geavanceerde programmaregelaar

Vermogenselectronica voor het aansturen van alle soorten elektrische verwarming

RKC Instrument vermogenselectronica

  • zeer hoge onovertroffen Japanse kwaliteit
  • extreem hoge betrouwbaarheid
  • stroom bereik: 10-200A
  • 1, 2 of 3 fase belastingen
  • spanning bereik belasting: 35-480Vac
  • resistieve belastingen (weerstand onafhankelijk van temperatuur)
  • inductieve belastingen (bijvoorbeeld primaire zijde transformator)
  • molybdeen (MoSi2) elementen (bijvoorbeeld Kanthal super)
  • silicium carbide (SiC) elementen

CD Automation vermogenselectronica

  • flexibel en modulair systeem met vele opties zodat U alleen die zaken hoeft te bestellen die U ook echt nodig heeft, niets meer en niets minder.
  • stroombereik 10-2100A
  • 1, 2 of 3 fase belastingen
  • tot en met 690Vac
  • resistieve belastingen (weerstand onafhankelijk van temperatuur)
  • inductieve belastingen (bijvoorbeeld primaire zijde transformator)
  • infrarood (IR) lang- midden- en korte golf lampen
  • molybdeen (MoSi2) elementen (bijvoorbeeld Kanthal super)
  • silicium carbide (SiC) elementen
  • UV lampen

Dataloggers voor cleanroom monitoring (druk, temperatuur, luchtvochtigheid)

SmartReader Plus Serie

2-8 kanaals batterij gevoede  datalogger met interne temperatuur meting. Verschillende versies zijn beschikbaar voor:

  • thermokoppel type J, K, S, T & E (-200°C t/m +1450°C)
  • RTD Pt100/Pt1000 (-230°C t/m +300°C)
  • NTC thermistor (-60°C t/m +255°C)
  • mV/V & mA proces signalen
  • AC spanning (120/240/480/600Vac) & stroom (5A t/m 500A)
  • druk (0-25mBar t/m 0-10Bar)
  • verschildruk (+/- 2.5Pa t/m +/- 25mBar)
  • weerstand
  • 24VDC digitale IO signalen of potentiaalvrij contact (max. 100kHz)
SmartReader Plus 4 LPD differential pressure and temperature datalogger
Voorbeeld: SmartReader Plus 4 LPD: lage verschildruk en temperatuur
NIST
optioneel NIST kalibratie certificaat